キャリヤガス

イオン源の中でアーク放電を安定に維持するために導入するガスを、キャリヤガスという。キャリヤガスには、イオン化し電子を放出しやすいガスであると共に、アークチャンバを生成物で汚したりしにくいよう、Arなど、反応性の小さいガスを用いることがある。ベーパライザ（オーブン）による固体ソースからの蒸気を用いる場合、ベーパライザの温度が上昇し安定するまでは、蒸気圧が安定しないことがあり、このような時にでもアークが立ちやすいよう、キャリヤガスを用いることがある。目的の蒸気が安定になり、アークも安定になると、無用にアーク電流や引出電流を大きくしないためにも、今度は、キャリヤガス導入を停止することがある。