イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

LTPO

英語表記
Low Temperature Polycrystalline Oxide

有機ELディスプレイ等を駆動するTFT技術のひとつ。高速応答が得意なLTPSをスイッチング素子に、消費エネルギーを少なく抑えれる酸化物半導体をドライブ素子に、それぞれ用いる事によって両方の長所を活かせる。