エネルギーコンタミネーション

設定している注入エネルギー以外のイオンが注入されると、デバイス特性に影響を及ぼすことがあるが、これをエネルギーコンタミネーション（エネルギーコンタミ）と呼ぶ。エネルギーコンタミネーションの発生は、目的とするエネルギーへイオンを加速/減速する前に、ビームライン中の残留ガスとイオンが衝突することにより、荷電交換によって中性化され、加速/減速を受けないままとなる場合や、同様の理由でイオンがその価数を増加又は減少させたり、分子イオンが解離したりして、目的としないエネルギーに加速（又は減速）されてしまう場合などがある。この対策として、加速/減速した後にエネルギー分析を行うなどの方法がある。