イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

プロセスに関連する用語

第一原理計算

英語表記
First-principles calculation

物質は原子核と電子からなり、その状態を量子力学に基づいた理論で計算する手法。実験的に求めたパラメータを用いずにSchrödinger方程式(波動方程式)を解くことで物質の振る舞いを原子レベルで計算します。イオン注入/拡散メカニズムの解明にも用いられ、空孔、格子間原子およびその複合体の安定構造が見積もられています。