シート抵抗

シート抵抗は、薄膜やイオン注入によって形成した拡散層などの薄い膜の電気抵抗を表すもので、単位はΩ/sqで表される。シート抵抗は低効率を厚さtで割った値、抵抗はシート抵抗にL/W（L:長さ、W幅）に掛けることによって求まる。シート抵抗の測定には一般に四探針法が用いられます。四探針法は4本の針を直線状に並べたもので外側の2本に電流を流し、内側の2本の電圧差を測定することで抵抗を求めます。シート抵抗は、イオン注入層の濃度、深さに依存するため、イオン注入装置のQC法として広く用いられている。