ソース/ドレイン

電界効果トランジスタは、3種類の端子「ゲート」「ソース」「ドレイン」で構成されており、「ソース」および「ドレイン」部は、主にイオン注入を用いて形成される。比較的多くのイオン（ドーズ量: >5E14ions/cm2)が必要で、p型トランジスタはリンイオンを、ｎ型トランジスタは、ボロンイオンが用いられる場合が多い。