- 英語表記
- tilt angle
注入処理に用いられるウェーハの配置を表すパラメータのひとつで、ウェーハの傾きを表す。具体的には、ウェーハ面の法線を、ウェーハ中心に立てた時、この法線とイオンビームとが交差する角度を、ティルト角という。
![ティルト角](https://www.nissin-ion.co.jp/wp/wp-content/themes/original/img/csv/37.jpg)
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
装置に関連する用語
注入処理に用いられるウェーハの配置を表すパラメータのひとつで、ウェーハの傾きを表す。具体的には、ウェーハ面の法線を、ウェーハ中心に立てた時、この法線とイオンビームとが交差する角度を、ティルト角という。