ティルト角

注入処理に用いられるウェーハの配置を表すパラメータのひとつで、ウェーハの傾きを表す。具体的には、ウェーハ面の法線を、ウェーハ中心に立てた時、この法線とイオンビームとが交差する角度を、ティルト角という。