静電スキャン

スポットで輸送されてきたイオンビームを、注入するウェーハの大きさに応じて走査（掃引、スキャン）するために、電場を用いる方法をさす。イオンビームが中性化した中性粒子の注入をさけるため、電場が0の領域を注入に用いず、オフセットをかけた電場を用いる場合もある。