- 英語表記
- Low Temperature Poly Silicone
それまでTFTに広く使われてきたアモルファスシリコン呼ばれる非結晶体にに変わって、ディスプレイの高速応答化や高精細化を実現させた。ポリは多いという意味で、シリコンの単結晶ではなく、多結晶シリコンとも呼ばれ、レーザー等を用いて、ガラスが耐える事ができる比較的低温化で生成可能なのが特徴。
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
装置に関連する用語
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