イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

低温ポリシリコン

英語表記
Low Temperature Poly Silicone

それまでTFTに広く使われてきたアモルファスシリコン呼ばれる非結晶体にに変わって、ディスプレイの高速応答化や高精細化を実現させた。ポリは多いという意味で、シリコンの単結晶ではなく、多結晶シリコンとも呼ばれ、レーザー等を用いて、ガラスが耐える事ができる比較的低温化で生成可能なのが特徴。