イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

RF型加速器

英語表記
radio frequency linac (linear accelerator)

高エネルギー加速器の中で、高周波を用いてイオンを加速する方式の加速器を指す。イオン源から引き出し電圧によって加速(引出)されたイオンを、大地電位のビームラインに通し、そこに比較的低い電圧の高周波(RF)を繰り返し導入することで、イオンを加速する。MeVオーダーのイオンエネルギーを得る装置で用いられることが多く、高周波(RF)線形加速方式と、RFQ型加速方式がある。