ガラス基板カセット

ガラス基板を収納するケースの名称。通常数十枚のガラス基板が収納できる。半導体用のウエハーカセットは全て樹脂製で作られている事が多いが、ＦＰＤ用のカセットはガラス基板のサイズが大きいので、組み立て式の複合材で多く作られている。外形は高強度を目的に金属で作られており、基板接触部は低発塵を目的に樹脂が用いられている。