拡がり抵抗法

SR法は、斜め研磨した試料の拡がり抵抗を測定することで、深さ方向にキャリア濃度の分布を測定する手法です。研磨面に立てた2本の針間の抵抗を測定し、比抵抗を求め、求めた比抵抗とキャリア移動度の関係からキャリア濃度を求めます。SIMSによる注入イオンの分布と合わせることで、活性化率を求めることが出来ます。