イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

LDD

英語表記
Lightly Doped Drain

「ソース」「ドレイン」とチャンネルの間に、少ないイオン(ドーズ量:1E13ions/cm2近辺)を用いてイオン注入で低濃度の不純物領域を設けて、ここに高電界が集中しないようにした電界効果トランジスタの構造。