イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

分析スリット

英語表記
resolving aperture

エネルギーを持ったイオンを磁場の中に通すことによって必要なイオンを取り出す質量分析を用いる。磁場を発生させる分析マグネットの焦点位置に、質量分解能を良くするために設置するスリットをさす。スリット幅を大きくすると、質量分析の分解能が悪くなる。