ガスボックス

イオンを発生させるタネとしてガスを用いる場合、各種ガスのボトルや、ボトルからのガス導入配管、減圧弁（レギュレーター）、ストップ弁（バルブ）、流量調節弁（マスフロー）などを組み合わせ、防護用のボックスに一体化させたものを、ガスボックスという。ガスボックスには、BF3やPH3、AsH3など、危険なガスを用いることが多く、直接に負圧の局所排気管が接続される。