- 英語表記
イオン注入に用いるビーム電流そのものが持つ仕事率は、次のように、簡単に計算できる。
【ビームエネルギー（eV）】×【ビーム電流（A）】＝【ビームの仕事率（W）】
...（１）
このようなビームが、ロス無しに基板に照射（注入）される場合、基板が得る熱量は、次のように計算できる。
【ビームの仕事率（W＝J/s）】×【注入時間（s）】／【4.19（J/cal）】＝【注入熱量（cal）】
...（ビームが全て基板に注入される場合） （２）
しかしながら、実際には、ビーム計測に用いられるビームや、オーバースキャン領域でのビームが、注入されないビームなるため、発生したビームの全てが注入に用いられないことがある。
そこで、このような場合には、装置パラメータとして設定/計測される注入イオンドーズ量（ions/cm2）を用いて、実効的なビームの仕事率（W）を換算する方法がある。
具体的には、1価イオン注入の場合は、次のように計算される。
【注入イオンドーズ量（ions/cm2）】×【1.602×10-19C】／【注入時間（s）】×【ビームエネルギー（eV）】×【基板面積（ cm2 ）】
＝【（実効的なビームの仕事率（W）】...（３）