イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

プロセスに関連する用語

阻止能

英語表記
Stopping power

注入されたイオンはターゲット中の電子や原子と衝突しエネルギーを失うことで停止する。阻止能は衝突によるエネルギー損失量を表すもので、原子との衝突による損失(核阻止能)、電子との衝突による損失(電子阻止能)がある。核阻止能はあるエネルギーで最大値を示し、高エネルギーでは減少する。またイオンの質量が大きいほど高エネルギーまで核阻止能が大きい。電子阻止能は低エネルギー領域ではイオンの速度すなわちエネルギーの1/2乗に比例して大きくなる。注入されたイオンは、最初はエネルギーが高いため電子との衝突が支配的で、徐々にエネルギーを失いエネルギーが低くなると原子との衝突が支配的になり静止する。