ファラデー

イオン注入に用いられるビーム電流量を計測するために、電流カウント用の電気回路を接続したファラデー系（ファラデーカップ）が用いられる。ファラデーカップには、放出される二次電子を跳ね返すなど、イオンビーム以外の荷電粒子をファラデーカップ内に出入りさせないことで、イオンビームの計測に誤差を生じさせないように設計される。ファラデー系は、ビーム電流量の絶対値を測定するだけでなく、スキャン（スイープ）されたビーム電流の分布を確認したり、イオンビームの形状を測定するためにも用いられ、この時は、複数のファラデーカップを用いたり、ファラデーを動かしたりする。