TEM

透過型電子顕微鏡(TEM)は、原子レベルの高分解能での結晶粒観察、電子線回折による結晶構造の解析に用いられます。薄膜化したサンプルに電子を透過させると電子はサンプル中の原子と相互作用し、透過した電子を解析することで結晶情報を得ることが出来ます。電子透過時にサンプルから放出される特性X線のエネルギーを測定するTEM-EDS、透過した電子が結晶との相互作用により失うエネルギーを測定するTEM-EELSにより元素分析も可能です。