イオン分解能

イオン源で発生されたイオンビームを分析マグネットで分析する際、目的とするイオンと、他のイオンを分離する能力をイオン分解能（質量分解能）という。イオン分解能は、横軸に分析マグネットによって選別分析されたイオンの質量数、縦軸に検出された分析後のイオンビーム電流量をとり、これをスペクトル（マススペクトル）として表した場合、その特定のイオンを示すスペクトルピークの半値全幅（ΔM）と、ピーク位置（M）の比（M/ΔM）で表される。例えば、分解能が100というのは、質量数100ビームと質量数101ビーム幅および分析スリットの幅が同じとした時に、質量数100ビームはすべてスリットを通り、101ビームはスリットの端に位置する状態を示している。