プロファイルモニター

イオン注入装置におけるプロファイルモニターは、注入ターゲット付近でのイオンビーム形状を計測するために設置される。イオンビームの均一性を計測するだけでなく、形状補正のためのフィードバックのためにも使用される。さらにイオンビームの電流密度の値も正確に計測し、注入量を調整することにも使用される。その場合、電流値計測はファラデーカップ構造を用いることが多く、1個のファラデーカップを動かして連続的にプロファイルを計測する方法とか複数のファラデーカップをならべることにより、ほぼ同時に計測する方法もある。後者の場合は計測時間が短い一方、隣り合うファラデーカップの間は計測できないという短所がある。イオンドーピング装置では、イオン源と注入ターゲット間に局所的に作用する光学レンズを使用していないため、基本的にビームプロファイルはなめらかであることから、後者のマルチファラデーカップタイプを用いている。