グリッチ

イオン注入に用いるビームが、ごく短時間急減する現象を、グリッチと呼ぶ。グリッチの原因は、例えば、イオン源部の引き出しギャップに印加される引出電圧が放電することで、瞬間的にビームが取り出されなくなることなどが想定される。グリッチが発生した場合、例えば枚葉のイオン注入装置の場合は、スキャンを制御して、イオン注入のドーズ量/面内均一性に影響を及ぼさないようする。