会社紹介COMPANY PROFILE

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当社は半導体の製造やフラットパネルディスプレイの製造に用いられる「イオン注入装置」と呼ばれる機械装置のメーカーです。設計・開発から製造・販売・アフターサービスまでを全て一貫して行っています。
1973年の事業開始以来、高機能半導体製造用途においてはこれまで約1,000台を世界各地の大手半導体メーカーや電機メーカーへ納入しています。
またディスプレイ製造用途においては、半導体製造用途で培った技術力を活かして1988年に事業をスタート、今では当社装置はスマートフォンやタブレット端末向けの高輝度・高精細ディスプレイ製造に不可欠なものと位置づけられ、世界シェア100%で市場を独占するに至っています。

半導体とは

半導体

「半導体」を辞書で調べると、「電気抵抗の値が金属と絶縁体との中間である固体物質の総称」とあります。

すなわち、「半導体」という言葉はもともと、鉄や銅などの電気をよく通す「導体」と、ゴムなどの電気をほとんど通さない「絶縁体」と比較して、電気の通りやすさについて中間的な性質をもつ物質を一般的に指し示す言葉でした。

ただし最近では、半導体を材料にして作られた各種の電子部品を「半導体」と呼ぶ場合が多くなっています。

半導体製造装置とは

イオン注入装置

半導体製造装置とは、半導体を材料にした電子部品を製造するための各種装置のことです。

ひとつの製造装置で半導体が作られるわけではなく、さまざまな役割の製造装置が製造工程の順番に並べられて、半導体が製造されます。

当社が製造する「イオン注入装置」も、半導体製造装置の一種類です。

イオン注入とは

半導体

半導体に分類される物質、例えば代表的なものであるシリコン(Si)は、原子同士が「共有結合」と言われる状態で強く結びついているため、普通の状態(常温)では電気を通しません。

しかし、この半導体に特定のイオンを注入すると、半導体に「電気が流れるしくみ」(少し難しく言えば「トランジスタ」)を創り出すことができます。「イオン注入」によって初めて、「物質」に過ぎなかった半導体に「命」が吹き込まれ、「電子デバイス」としての半導体に生まれ変わるのです。 イオン注入装置の役割は以上のように、電気が流れない状態であった半導体材料に特定のイオンを打ち込むことによって、電気的特性を制御する仕組み(トランジスタ)を形成することであり、現代の半導体製造工程上欠かすことのできない、非常に重量な役割を担っています。

当社の「半導体製造用イオン注入装置」の役割と貢献

イオン注入装置

半導体は、小さな電化製品から社会インフラまで、世の中の「ありとあらゆるもの」に使用され、私たちの生活を、便利に、楽しく、豊かにしています。

当社の「半導体製造用イオン注入装置」は、世界中の半導体メーカーで「イオン注入」の工程を担い、 累計1千台にのぼる当社の装置が、その生産を、ひいては現代社会を支え続けています。

また近年の環境意識の高まりから、省電力化・省エネルギー化が世界的に進められる中で、「パワー半導体」がそのキーデバイスとなっていますが、当社のパワー半導体製造用イオン注入装置「IMPHEAT-Ⅱ」は、電子デバイス産業新聞主催「半導体・オブ・ザ・イヤー2021」の半導体製造装置部門においてグランプリを受賞するなど高い評価を得ています。

当社の「フラットパネルディスプレイ製造用イオン注入装置」の役割と貢献

スマートフォン

スマートフォンやタブレット端末に用いられる中小型フラットパネルディスプレイ(FPD)は、微細なトランジスタの働きにより駆動しています。

当社の「FPD製造用イオン注入装置」は、特に高精細・高輝度・高解像度が求められる中小型の「液晶ディスプレイ」「有機ELディスプレイ」の製造において、その駆動部(薄膜トランジスタ)を形成するために必須となる装置であり、「世界シェア100%」のメーカーとして、高品位なディスプレイ生産を通じ、世界の人々の「便利・楽しい・豊か」へ貢献し続けています。

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