EXCEED2300
イオン種：B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
ドーズ量：5E10 ～ 1E17
エネルギー：5keV ～ 600keV
IMPHEAT-II
イオン種：Al+, P+, As+, B+, N+ 等
ドーズ量：5E10 ～ 1E17
エネルギー：5keV ～ 960keV
RT～500℃基板加熱
EXCEED400HY
イオン種：Al+, P+, As+, B+, N+ 等
ドーズ量：5E10 ～ 1E17
エネルギー：5keV ～ 960keV
BeyEX
イオン種：B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
ドーズ量：5E10 ～ 1E17
エネルギー：5keV ～ 750keV
CLARIS
イオン種：B18Hx+, B10Hx+, C16Hx+, C14Hx+, C7Hx+, P4+, As4+ 等
ドーズ量：5E10 ～ 1E17
（加速）エネルギー：4keV ～ 80keV
＊モノマー換算エネルギーは別途お問い合わせ下さい。
イオン注入サービス 設備一覧 EQUIPMENT LIST
- パラレルイオン注入装置
- メーカー：日新イオン機器株式会社
| 型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
| EXCEED2300 | 12” | 300mmFOUP対応 |
| IMPHEAT-II | 6” | 高温対応 |
| EXCEED400HY | 8” | – |
| BeyEx | 12” | 300mmFOUP対応 |
| CLARIS | 12” | 300mmFOUP対応 |
- クリーンルーム
- メーカー：高砂熱学工業株式会社
| 型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
| CLASS 1 | – | – |
- アニール炉
- メーカー：光洋サーモシステム
| 型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
| VF2000S | 8″,6″,5″,4″,3″ | 小径可 |
| VF-1000 | 12″,8″,6″ | – |
- RTP
- メーカー：マトソンサーマルプロダクト
| 型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
| AST3000 | 12″,8″ | – |
- ドーズモニター
- メーカー：サーマウェーブ社
| 型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
| TP-630 | 12″,8″,6″ | – |
- レーザー表面 検査装置
- メーカー：ケーエルエーテンコール
| 型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
| SP1 TBI | 12″,8″ | – |
| SP1 CLASSIC | 12″,8″ | – |
- シート抵抗測定器
- メーカー：ケーエルエーテンコール
| 型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
| RS-35C | 8″,6″,5″,4″,3″ | – |
| RS-100 | 12″,8″ | – |
- ウェーハ移載機
- メーカー：JEL
| 型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
| – | 12″,8″ | 300mmFOUP対応 |
