設備一覧EQUIPMENT LIST

EXCEED2300

EXCEED2300

イオン種:B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
エネルギー:5keV ~ 600keV

IMPHEAT-II

IMPHEAT-II

イオン種:Al+, P+, As+, B+, N+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
エネルギー:5keV ~ 960keV
RT~500℃基板加熱

EXCEED400HY

EXCEED400HY

イオン種:Al+, P+, As+, B+, N+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
エネルギー:5keV ~ 960keV

BeyEX

BeyEX

イオン種:B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
エネルギー:5keV ~ 750keV

CLARIS

CLARIS

イオン種:B18Hx+, B10Hx+, C16Hx+, C14Hx+, C7Hx+, P4+, As4+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
(加速)エネルギー:4keV ~ 80keV
*モノマー換算エネルギーは別途お問い合わせ下さい。

EQUIPMENT LIST

パラレルイオン注入装置
メーカー:日新イオン機器株式会社
型式ウェーハサイズ備考
EXCEED230012”300mmFOUP対応
IMPHEAT-II6”高温対応
EXCEED400HY8”
BeyEx12”300mmFOUP対応
CLARIS12”300mmFOUP対応
クリーンルーム
メーカー:高砂熱学工業株式会社
型式ウェーハサイズ備考
CLASS 1
アニール炉
メーカー:光洋サーモシステム
型式ウェーハサイズ備考
VF2000S8″,6″,5″,4″,3″小径可
VF-100012″,8″,6″
RTP
メーカー:マトソンサーマルプロダクト
型式ウェーハサイズ備考
AST300012″,8″
ドーズモニター
メーカー:サーマウェーブ社
型式ウェーハサイズ備考
TP-63012″,8″,6″
レーザー表面 検査装置
メーカー:ケーエルエーテンコール
型式ウェーハサイズ備考
SP1 TBI12″,8″
SP1 CLASSIC12″,8″
シート抵抗測定器
メーカー:ケーエルエーテンコール
型式ウェーハサイズ備考
RS-35C8″,6″,5″,4″,3″
RS-10012″,8″
ウェーハ移載機
メーカー:JEL
型式ウェーハサイズ備考
12″,8″300mmFOUP対応