EXCEED2300
イオン種:B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
エネルギー:5keV ~ 600keV
IMPHEAT-II
イオン種:Al+, P+, As+, B+, N+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
エネルギー:5keV ~ 960keV
RT~500℃基板加熱
EXCEED400HY
イオン種:Al+, P+, As+, B+, N+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
エネルギー:5keV ~ 960keV
BeyEX
イオン種:B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
エネルギー:5keV ~ 750keV
CLARIS
イオン種:B18Hx+, B10Hx+, C16Hx+, C14Hx+, C7Hx+, P4+, As4+ 等
ドーズ量:5E10 ~ 1E17
(加速)エネルギー:4keV ~ 80keV
*モノマー換算エネルギーは別途お問い合わせ下さい。
イオン注入サービス 設備一覧 EQUIPMENT LIST
- パラレルイオン注入装置
- メーカー:日新イオン機器株式会社
型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
EXCEED2300 | 12” | 300mmFOUP対応 |
IMPHEAT-II | 6” | 高温対応 |
EXCEED400HY | 8” | – |
BeyEx | 12” | 300mmFOUP対応 |
CLARIS | 12” | 300mmFOUP対応 |
- クリーンルーム
- メーカー:高砂熱学工業株式会社
型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
CLASS 1 | – | – |
- アニール炉
- メーカー:光洋サーモシステム
型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
VF2000S | 8″,6″,5″,4″,3″ | 小径可 |
VF-1000 | 12″,8″,6″ | – |
- RTP
- メーカー:マトソンサーマルプロダクト
型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
AST3000 | 12″,8″ | – |
- ドーズモニター
- メーカー:サーマウェーブ社
型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
TP-630 | 12″,8″,6″ | – |
- レーザー表面 検査装置
- メーカー:ケーエルエーテンコール
型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
SP1 TBI | 12″,8″ | – |
SP1 CLASSIC | 12″,8″ | – |
- シート抵抗測定器
- メーカー:ケーエルエーテンコール
型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
RS-35C | 8″,6″,5″,4″,3″ | – |
RS-100 | 12″,8″ | – |
- ウェーハ移載機
- メーカー:JEL
型式 | ウェーハサイズ | 備考 |
– | 12″,8″ | 300mmFOUP対応 |