FPD製造用イオン注入装置EQUIPMENT

人と情報の接点 ― FPD(フラットパネルディスプレイ)

情報通信技術の進化とスマートフォンの普及によって、ユーザーが個人端末で受け取る情報が急増しました。その製品の中でも最も利便性が高い情報表示機としてフラットパネルディスプレイが普及し、最も身近な情報との接点になっています。

デバイス

中小型高品位ディスプレイに不可欠

現在、数あるフラットパネルディスプレイの駆動回路である薄膜トランジスタの中で、低温ポリシリコン薄膜トランジスタは最先端かつ高品位のスマートフォン、タブレットPC、ポータブルゲーム機等のディスプレイパネルに最も多く採用されています。当社は1988年に世界に先駆けて、LTPS-TFT製造用イオン注入装置を開発して以来、多くの納入台数を重ね、同装置市場で圧倒的かつ確固たる地位を築き、中小型高品位ディスプレイ製品の普及・拡大に貢献してまいりました。また、スマートフォンではほぼすべてのミドルエンド、ハイエンドクラス製品のディスプレイ製造に当社装置が採用されています。

医療ディスプレイ

生産性向上への取り組み

中小型ディスプレイの製造には4.5世代サイズ以下のガラス基板が採用されてきましたが、スマートフォンの世界的な需要急増を契機に、より生産能力の高い量産ラインの構築が求められるようになり、現在では、6世代サイズのガラス基板による量産ラインが主流になっています。

当社は、FPD製造用イオン注入装置のリーディングカンパニーとして、前述の中小型ディスプレイ需要の急増に先立ち、世界に先駆けて5.5世代サイズ対応イオン注入装置を開発・販売しました。ディスプレイパネルメーカーのさらなる生産性向上要求に合わせて、続けて、6世代サイズ対応イオン注入装置iG6を開発・販売、6世代対応装置市場においては、世界で唯一の量産用FPD製造用イオン注入装置として各国の生産ラインで稼働しています。また、生産性を大幅アップした“iG6 Ver.2”をリリースするなど、生産性向上の取り組みを続けています。これからも市場の成長とともに、より多様化するお客様のニーズに応え、FPD産業の技術革新に貢献して参ります。

スマートフォン

LINEUP

低温ポリシリコン薄膜トランジスタに代表される高精細ディスプレイ駆動用薄膜トランジスタ製造における電気特性制御プロセスに不可欠な
イオン注入装置を提供します。

低温ポリシリコン薄膜トランジスタに代表される高精細ディスプレイ駆動用薄膜トランジスタ製造における電気特性制御プロセスに不可欠なイオン注入装置を提供します。

iG6 Ver.2

対応するガラス基板サイズ:1,500mm×1,800mm

iG4

対応するガラス基板サイズ:730mm×920mm