弊社の研究開発グループは、韓国で最大規模のフラットパネルディスプレイに関する
技術や材料等が報告される国際会議「iMiD 2024」(会期:2024年8月20日(火)~23日(金))
で報告したIGZO-TFT(薄膜トランジスタ)へのホウ素イオン注入特性に関する研究成果において、
「Best Poster Paper Award」を受賞しました。
本研究では、ホウ素イオン注入によるIGZO中の電子の生成率の検討、およびイオ
ン注入による高い微細加工性の可能性を報告いたしました。
今後もより多くのデータを集め、酸化膜半導体へのイオン注入技術の適応により、
お客様の発展と持続可能な社会の実現に貢献します。
【iMiD 2024の概要】
開 催 日 : 2024年8月20日(火)~8月23日(金)
開催場所 : 済州島
主 催 :
・ The Korean Information Display Society (KIDS)
・ The Society for Information Display (SID)
【用語】
・IGZO
インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)、酸素(O)から構成される酸化物半導体の略称。
・TFT(Thin Film Transistor):薄膜トランジスタ
半導体薄膜を使って作製したトランジスタで、ガラスやフィルムなどの絶縁膜基板上に製作し、
液晶や有機ELの表示に使用される。