材料改質装置
KYOKA 鏡花
材料改質の量産を実現する世界初の装置
特長
高い生産性をもつ材料改質装置
- 超大電流のイオンビーム生成が可能
- 1 keV未満の低エネルギー領域でも超大電流を輸送可能なようデザインされたビーム輸送系
- ボロン、リン、ヒ素だけではなく、アルミニウム、チタン、ニッケル、銅などさまざまなイオン種で超大電流イオンビームを生成することが可能
市場で認められた信頼の技術
- フラットパネルディスプレイ業界で独占的地位を築いている弊社装置の技術を基に開発
本装置に関する学会発表
H. Kai et al, “Development of ultra-high-current implanter for material modification process in next era devices,” MRS Advances, 7, 1248, (2022).
T. Matsumoto, S. Hahto, G. Sacco, H. Kai, R. Wada, T. Kuroi, N. Hamamoto. “High-current metal ion source for material modification in the semiconductor manufacturing processes,” MRS Advances (2025).
