EXCEED9600A系列

半导体制造用离子注入装置

EXCEED9600A系列

具有能应对纳米技术节点的高生产率和工艺可靠性、并拥有丰富实绩的中电流离子注入装置

特长

对最佳生产线构成做贡献的机型

• 也能应对高能注入的全能装置

行业最高的生产率

• 能应对薄晶圆等多样化衬底的搬送系统
• 提升低能射束量
• 平均自动调谐时间＜2分钟

在市场得到实际验证的注入品质

• 完全除去能量污染
• 水平和垂直两方向的射束角度反馈系统:多点法拉第系统

在同一平台上的进化

• 维持了可靠性、工艺兼容性和零件兼容性且在最低风险下提升性能