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与日新电机株式会社和HVEE公司(High Voltage Engineering Europe)进行技术合作
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开始生产离子注入装置
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开发200kV中电流离子注入装置
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从Western Electric Manufacturing Company (现为AT&T)引进30kV大电流离子注入装置技术
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开发了200kV中电流离子注入装置(输送带搬送端站)“NH-20C”
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开发200kV大电流离子注入装置“PR-200”
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设置离子机器事业部
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发售中电流离子注入装置“NH-20S”的全自动和双端站“NH-20SD”
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发售80kV大电流离子注入装置“PR-80”
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新建久世工厂和搬迁，开发旋转注入端站
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发售新型中电流离子注入装置“NH-20SR”
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发售新型大电流离子注入装置“PR-80A”和新型双端站“NH-20SDR”
开始平板显示器用离子注入装置事业
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开发了8英寸平行束中电流离子注入装置“NH-20SP”
量产用400kV中电流离子注入装置“NH-40SR”向客户交货
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低温多晶硅TFT(LTPS-TFT)显示器用离子注入装置(离子掺杂)的1号机向客户交货
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开发了8英寸大电流离子注入装置“EXCEED8000”
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带旋转注入机构的中电流离子注入装置获得日本“市村产业奖”
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开发了新型中电流离子注入装置“EXCEED2000”
开发了量产用500kV中电流离子注入装置“NH-50SR”
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LTPS-TFT显示器用离子注入装置(离子掺杂) 正式交货
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在英国(苏格兰)设立日新电机欧洲公司
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改良型8英寸平行中电流离子注入装置“EXCEED2000A”开始发售
LTPS-TFT显示器用离子注入装置(离子掺杂)“ID5600”和“ID6700”开始向客户交货
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300mm晶圆用离子注入装置“EXCEED2300” 开始客户的评价
从日新电机株式会社接受生产制造权成立了“日新离子机械株式会社”
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量产用300mm晶圆用离子注入装置“EXCEED2300”开始向客户交货
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在台湾成立合资公司“日亚联合离子机器股份有限公司”
在中国(上海)开设派驻员事务所
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在韩国成立子公司“韩国日新离子株式会社”
在中国(上海)成立子公司“日亚意旺机械(上海)有限公司”
在新加坡开设日新离子机械株式会社“新加坡分公司”
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资本金从4.9亿日元增资到15亿日元
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新型300mm晶圆用离子注入装置“EXCEED3000AH”开始发售
第4.5代衬底尺寸(730mm×920mm)的LTPS-TFT显示器用离子注入装置“iG4” 开始向客户交货
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在滋贺县甲贺市开设滋贺事业所·等离子技术开发中心
接受日新电机株式会社的生产制造业务的销售转让权
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注入能量范围可扩大至最大960KeV的300mm晶圆用离子注入装置“EXCEED9600A”开始发售
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世界首创簇离子束的混合型离子注入装置“CLARIS”开始发售
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在美国(得克萨斯州)成立100％子公司“NISSIN ION EQUIPMENT USA, Inc.”
功率半导体用高温注入装置“IMPHEAT” 开始向客户交货
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- 在中国江苏省扬州市成立100％出资的生产子公司“日新意旺高科技(扬州)有限公司”
- 世界最初第5.5代衬底尺寸(1300mm×1500mm)LTPS-TFT显示器用离子注入装置“iG5”的开发成功并开始向客户交货
- 世界最初第6代衬底尺寸(1500mm×1800mm)LTPS-TFT显示器用离子注入装置“iG6”的开发成功并开始向客户交货
- 在滋贺事业所增建工厂第二区域
- 在美国子公司“NISSIN ION EQUIPMENT USA, Inc.”新设研究开发所，所在地设置在马萨诸塞州波士顿近郊
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半导体用离子注入装置“BeyEX(-H)”开始向客户交货
半导体用离子注入装置“EXCEED3000AH-8C”开始向客户交货
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在滋贺事业所增建工厂第三期区域
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VCSEL用氢注入装置“EXCEED400HY”开始向客户交货
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开发了功率半导体用新型高温注入装置“IMPHEAT-II”
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在滋贺事业所增建事务楼
把总部职能迁移到东寺事务所
