LUXiON

半导体制造用离子注入装置

LUXiON

大电流离子注入设备，实现常规掺杂离子及氟等特殊离子的高生产率注入

特长

兼具低金属污染与高生产率的大电流离子注入设备

• 采用在平板显示行业占据垄断性市场地位的FPD制造用离子注入设备技术，通过大面积离子束实现高生产率
• 低金属污染
• 晶圆尺寸：12英寸

独创性与可靠性的融合

• 在平板显示行业占据垄断性市场地位的大面积离子束技术
• 长期畅销的中电流离子注入设备所积累的技术与专业经验