设备一览表EQUIPMENT LIST

EXCEED2300

离子种类：B+、BF2+、P+、As+、In+、Sb+ 等
剂量：5E10～1E17
能量：5keV～600keV

IMPHEAT-II

离子种类：Al+, P+, As+, B+, N+ 等
剂量：5E10 ～ 1E17
能量：5keV ～ 960keV
RT～500℃衬底加热

EXCEED400HY

离子种类：Al+, P+, As+, B+, N+ 等
剂量：5E10 ～ 1E17
能量：5keV ～ 960keV

BeyEX

离子种类：B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
剂量：5E10 ～ 1E17
能量：5keV ～ 750keV

CLARIS

离子种类：B18Hx+, B10Hx+, C16Hx+, C14Hx+, C7Hx+, P4+, As4+ 等
剂量：5E10 ～ 1E17
(加速)能量：4keV ～ 80keV
＊关于单体换算能量，请另行垂询。