EXCEED2300
离子种类：B+、BF2+、P+、As+、In+、Sb+ 等
剂量：5E10～1E17
能量：5keV～600keV
IMPHEAT-II
离子种类：Al+, P+, As+, B+, N+ 等
剂量：5E10 ～ 1E17
能量：5keV ～ 960keV
RT～500℃衬底加热
EXCEED400HY
离子种类：Al+, P+, As+, B+, N+ 等
剂量：5E10 ～ 1E17
能量：5keV ～ 960keV
BeyEX
离子种类：B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
剂量：5E10 ～ 1E17
能量：5keV ～ 750keV
CLARIS
离子种类：B18Hx+, B10Hx+, C16Hx+, C14Hx+, C7Hx+, P4+, As4+ 等
剂量：5E10 ～ 1E17
(加速)能量：4keV ～ 80keV
＊关于单体换算能量，请另行垂询。
离子注入服务 设备一览表 EQUIPMENT LIST
- 平行离子注入装置
- 制造商：日新离子机械株式会社
| 型号 | 晶圆尺寸 | 备注 |
| EXCEED2300 | 12” | 300mmFOUP对应 |
| IMPHEAT-II | 6” | 高温对应 |
| EXCEED400HY | 8” | – |
| BeyEx | 12” | 300mmFOUP对应 |
| CLARIS | 12” | 300mmFOUP对应 |
- 无尘室
- 制造商：高砂热学工业株式会社
| 型号 | 晶圆尺寸 | 备注 |
| CLASS 1 | – | – |
- 退火炉
- 制造商：光洋热系统
| 型号 | 晶圆尺寸 | 备注 |
| VF2000S | 8″,6″,5″,4″,3″ | 小径可 |
| VF-1000 | 12″,8″,6″ | – |
- RTP
- 制造商：美森热处理产品
| 型号 | 晶圆尺寸 | 备注 |
| AST3000 | 12″,8″ | – |
- 剂量监测器
- 制造商：ThermaWave公司
| 型号 | 晶圆尺寸 | 备注 |
| TP-630 | 12″,8″,6″ | – |
- 激光表面检查装置
- 制造商：KLA Tencor公司
| 型号 | 晶圆尺寸 | 备注 |
| SP1 TBI | 12″,8″ | – |
| SP1 CLASSIC | 12″,8″ | – |
- 薄层电阻测定器
- 制造商：KLA Tencor公司
| 型号 | 晶圆尺寸 | 备注 |
| RS-35C | 8″,6″,5″,4″,3″ | – |
| RS-100 | 12″,8″ | – |
- 晶圆移载机
- 制造商：JEL
| 型号 | 晶圆尺寸 | 备注 |
| – | 12″,8″ | 300mmFOUP对应 |
