FPD制造用离子注入装置EQUIPMENT

人和信息的接触点 ― FPD(平板显示器)

随着信息通信技术的进步和智能手机的普及,用户在个人终端接收的信息急剧增加。作为该产品中便利性最高的信息显示机,平板显示器的普及,成为与最切身的信息的接触点。

デバイス

中小型高清晰显示器的重要性

在目前用于平板显示器驱动电路的众多薄膜晶体管中,低温多晶硅薄膜晶体管最常用于智能手机、平板电脑、便携式游戏机和其他产品的尖端、高品质显示器。本公司自1988年率先开发用于LTPS-TFT生产的离子注入装置以来,我们开始向客户销售本公司装置,并在该装置市场上建立了主导和稳固的地位,为中小型高清晰显示器产品的普及和扩大做出了贡献。 我们的装置还被用于生产智能手机市场上几乎所有中端和高端级别产品的显示屏。

医療ディスプレイ

提高生产效率的举措

4.5代或更小尺寸的玻璃衬底一直用于制造中小型显示器,以智能手机的世界性的需求激增为契机,为满足更高生产能力的大规模生产线的需求,使用6代尺寸的玻璃衬底的大规模生产线目前已成为主流。

本公司作为FPD制造用离子注入装置行业的主导企业,先行于上述中小型显示器需求猛增,在世界上率先开发和销售了应对5.5代尺寸的离子注入装置。为了满足显示器制造商进一步高生产率的要求,本公司开发和销售了对应6代尺寸的离子注入装置iG6,作为世界上唯一用于第6代FPD制造用离子注入量产装置,目前已在各国的生产线上运转。我们采取提高生产率的一贯方针,发布了大幅度提高了生产率的“iG6 Ver.2”等。随着市场的发展,本公司将继续为FPD行业的技术创新做出贡献,满足客户日益多样化的需求。

スマートフォン

LINEUP

本公司向客户提供以低温多晶硅薄膜晶体管为代表的高精细显示器驱动用薄膜晶体管制造中,对于电气特性控制过程中不可或缺的离子注入装置。

本公司向客户提供以低温多晶硅薄膜晶体管为代表的高精细显示器驱动用薄膜晶体管制造中,对于电气特性控制过程中不可或缺的离子注入装置。

iG6 Ver.2

对应玻璃衬底尺寸:1,500mm×1,800mm

iG4

对应玻璃衬底尺寸:730mm×920mm