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开发用于平板显示器制造的离子注入装置“iG8”—应对IT产品市场的扩大,支持超大型玻璃(第8.6代)基板—

日新离子机械株式会社(总部:京都市南区,社长:长井宣夫,以下简称“日新离子装置”)鉴于车载显示器及IT产品显示器(笔记本电脑、平板终端)等对OLED(有机发光二极管)应用预期不断扩大,开发出支持第8.6代(G8.6)玻璃基板、比传统装置拥有更高生产效率的用于FPD(平板显示器)制造的离子注入装置“iG8”,现已发运第一台样机。
将于2025年6月起正式开始销售。

日新离子机械现有产品中,支持第6代(G6)玻璃基板的FPD制造用离子注入装置“iG6”,已被广泛应用于智能手机用中小型OLED显示器的生产线上,在LTPS与LTPO-TFT制造工序中发挥着重要作用,有助于实现高性能、低功耗的显示器制造。

今后,车载显示器与高性能IT产品的需求预计将迅速增加,为应对此趋势,以更大面积的G8.6玻璃基板进行制造已成为不可或缺的选择。目前若使用G6玻璃基板生产这些产品,存在效率下降的隐忧。例如,对于15~17英寸的显示器,G6基板的利用效率仅为约70%,而使用G8.6玻璃基板时,其利用效率可超过90%,可实现更高效的生产。

此外,随着AI技术的普及,终端装置对低功耗的需求进一步增加,预期对LTPO技术的需求也将随之扩大。各大显示器制造商也在考虑应用更能实现低功耗的氧化物半导体技术(如IGZO)。虽然传统氧化物半导体TFT制造工艺中尚未采用离子注入技术,但在下一代高精细显示器制造中,正在探讨引入离子注入工序,由此对装置的需求预计也将进一步扩大。

今后,我们将以G6玻璃基板装置同样的姿态,致力于在G8.6玻璃基板用FPD制造离子注入装置领域持续保持全球市100%

【iG8的特点】

  • 唯一可对应G8.6玻璃基板的FPD量产用离子注入装置
  • 继承“iG6”理念,获得全球量产工厂的高度信赖
  • 可处理多种离子,对广泛的注入范围具有适应能力
      Ion Implanter for Flat Panel Display“iG8”

我们集团正在推进中长期发展计划“VISION2025”中提出的六大战略增长方向及五项事业基础强化举措。本项目属于增长战略中的“环保型产品扩展”、“可再生能源应用”、“DX在产品与事业中的应用”,以及事业基础强化中的“制造能力提升”、“提高生产效率”等相关业务活动。

通过本项目,我们也在加强对联合国可持续发展目标(SDGs)的响应。本项目尤其与以下目标相关:

目标9:建设产业、创新及基础设施

术语

  • 用于平板示器制造的离子注入装置
    为形成用于智能手机、笔记本电脑等的显示器控制用薄膜晶体管(TFT),将磷或硼等离子均匀注入玻璃基板上的半导体层的装置。
  • 6代(G6)玻璃基板
    当前智能手机生产的主要基板尺寸。尺寸为1500mm(长)×1850mm(宽)。
  • 8.6代(G8.6)玻璃基板
    大型玻璃基板,尺寸为2290mm(长)×2620mm(宽)。有时也被称为第8.7代(G8.7)。
  • OLED
    Organic Light Emitting Diode(有机发光二极管)的缩写。使用有机化合物作为发光元件,广泛应用于智能手机等显示器。
  • TFT
    Thin Film Transistor(薄膜晶体管)的缩写。
  • LTPS
    Low Temperature Polycrystalline Silicon(低温多晶硅)的缩写。是一种在相对低温下形成的多晶硅,用作薄膜晶体管的半导体层材料。广泛应用于智能手机。
  • LTPO
    一种结合低温多晶硅(LTPS)与氧化物半导体(如IGZO)的显示技术,可同时实现快速响应与低功耗。主要应用于智能手机与智能手表等装置。
  • 氧化物半
    由氧化物构成的半导体材料。虽然大多数氧化物本身具有绝缘性,但某些化合物表现出半导体特性。
  • IGZO
    一种由铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)与氧(O)组成的氧化物半导体的缩写。
  • 六大略增方向
    “环保型产品扩展”、“分布式能源应对”、“可再生能源应对”、“DX应用于产品与事业”、“捕捉新兴国家的环保需求”、“因EV扩大而带来的事业扩展”。