材料改质装置
KYOKA 镜花
可实现材料改质量产的世界首创装置
特长
具有高生产率的材料改质装置
- 可生成超大电流的离子束
- 设计了可在1 keV以下的低能量区域传输超大电流的束输送系统
- 不仅可以生成硼、磷、砷等离子，还能生成铝、钛、镍、铜等各种离子种类的超大电流离子束
得到市场认可的可信赖技术
- 以在平板显示器行业构筑了独占性地位的我公司装置的技术为基础进行开发
关于本装置的学术会议发表
H. Kai et al, “Development of ultra-high-current implanter for material modification process in next era devices,” MRS Advances, 7, 1248, (2022).
T. Matsumoto, S. Hahto, G. Sacco, H. Kai, R. Wada, T. Kuroi, N. Hamamoto. “High-current metal ion source for material modification in the semiconductor manufacturing processes,” MRS Advances (2025).
