エレクトロンフラッドガン
用語説明:エレクトロンフラッドガン / electron flood gun , EFG
同義語:エレクトロンシャワー 関連語:plusma flood gun , PFG
イオン注入中のウェーハは、イオンビームによって常に正の電荷を与え続けられ、電気的に帯電させられる。(これをチャージアップという。)
チャージアップが発生すると、例えば、帯電した電荷の緩和(放電)によりレジストが破裂したり、デバイスそのものがダメージを受けることがある。
この対策として、注入による帯電を中和させるため、エネルギーの低い電子をウェーハに供給する。これをエレクトロンフラッドガンと言う。この電子の源としてプラズマを使用するものを、特にプラズマフラッドガンと言う。
チャージアップが発生すると、例えば、帯電した電荷の緩和(放電)によりレジストが破裂したり、デバイスそのものがダメージを受けることがある。
この対策として、注入による帯電を中和させるため、エネルギーの低い電子をウェーハに供給する。これをエレクトロンフラッドガンと言う。この電子の源としてプラズマを使用するものを、特にプラズマフラッドガンと言う。