事業・製品紹介

半導体製造用イオン注入装置

IMPHEAT®

業界唯一の量産用高温イオン注入装置

IMPHEAT®

特長

業界唯一の量産用高温イオン注入装置

  • 室温から500℃までをカバー
  • 実用的なスループット
  • 生産性に寄与する大電流Al+ビーム

豊富な納入実績のあるEXCEEDをベースに開発

  • 高い信頼性
  • 保守部材の共通化

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