イオンドーピング装置は、大型のガラス基板にイオンを注入するための装置で、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイに用いられる薄膜トランジスタに対してリン（Ｐ）やボロン（Ｂ）を添加するために利用されています。 半導体製造と同様の技術のため、ガラス基板上に、より小型で高機能の薄膜トランジスタを製造することができます。

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