イオン注入サービス

設備概要/一覧

注入設備概要

EXCEED3000AH

  • イオン種:B+, BF2+, P+, As+, In+, Sb+ 等
  • ドーズ量:5E10 ~ 1E17
  • エネルギー:5keV ~ 750keV

CLARIS

  • イオン種:B18Hx+, B10Hx+, C16Hx+, C14Hx+, C7Hx+, P4+, As4+ 等
  • ドーズ量:5E10 ~ 1E17
  • (加速)エネルギー:4keV ~ 80keV

*モノマー換算エネルギーは別途お問い合わせ下さい。

IMPHEAT

  • イオン種:Al+, P+, As+, B+, N+ 等
  • ドーズ量:5E10 ~ 1E17
  • エネルギー:5keV ~ 960keV
  • RT~500℃基板加熱

イオン注入センター 設備一覧

No. 装置 型式 メーカー ウェーハサイズ 備考
1 パラレルイオン注入装置 EXCEED3000AH 日新イオン機器株式会社 12" 300mmFoup対応
2 パラレルイオン注入装置 CLARIS 日新イオン機器株式会社 12" 300mmFoup対応
3 パラレルイオン注入装置 IMPHEAT 日新イオン機器株式会社 6" (高温対応)
No. 装置 型式 メーカー ウェーハサイズ 備考
4 クリーンルーム Class 1 高砂熱学工業株式会社    
No. 装置 型式 メーカー ウェーハサイズ 備考
5 アニール炉 VF2000S 光洋サーモシステム 8",6",5",4",3" 小径可
6 アニール炉 VF2000S 光洋サーモシステム 6",5",4",3" 小径可
No. 装置 型式 メーカー ウェーハサイズ 備考
7 RTP AST3000 マトソンサーマルプロダクト 12",8"  
No. 装置 型式 メーカー ウェーハサイズ 備考
8 ドーズモニター TP-630 サーマウエーブ社 12",8",6"  
No. 装置 型式 メーカー ウェーハサイズ 備考
9 レーザー表面検査装置 SP-1 TBI ケーエルエーテンコール 12",8" 300mmFOUP対応
No. 装置 型式 メーカー ウェーハサイズ 備考
10 シート抵抗測定器 RS-35C ケーエルエーテンコール 8",6",5",4",3"  
11 シート抵抗測定器 RS-100 ケーエルエーテンコール 12",8"  
No. 装置 型式 メーカー ウェーハサイズ 備考
9 ウエーハ移載機 JEL 12",8" 300mmFOUP対応

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