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(1) |
| 使用設備： |
・300mmφ対応： EXCEED2300V |
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・300mmφ/ 200mmφ対応： EXCEED2300H |
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| (2) |
イオン種：B+、BF2+、P+、As+、In+、Sb+ 等 |
| (3) |
ドーズ量：1011〜1015 ions/cm-2 |
| (4) |
エネルギー：5keV〜750keV |
| No. |
装置 |
型式 |
メーカー |
ウエーハサイズ |
備考 |
| 1 |
パラレルイオン注入装置 |
EXCEED2300V |
日新イオン機器株式会社 |
12",8" |
300mmFOUP対応 |
| 2 |
パラレルイオン注入装置 |
EXCEED2300H |
日新イオン機器株式会社 |
12",8" |
300mmFOUP対応 |
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 パラレルイオン注入装置 |
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| No. |
装置 |
型式 |
メーカー |
ウエーハサイズ |
備考 |
| 3 |
クリーンルーム |
Class 1 |
高砂熱学工業株式会社 |
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| No. |
装置 |
型式 |
メーカー |
ウエーハサイズ |
備考 |
| 4 |
アニール炉 |
VF2000S |
光洋サーモシステム |
8",6",5",4",3" |
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| 5 |
アニール炉 |
VF2000S |
光洋サーモシステム |
6",5",4",3" |
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 アニール炉 |
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| No. |
装置 |
型式 |
メーカー |
ウエーハサイズ |
備考 |
| 6 |
RTP |
AST3000 |
マトソンサーマルプロダクト |
12",8" |
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 RTP |
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| No. |
装置 |
型式 |
メーカー |
ウエーハサイズ |
備考 |
| 7 |
ドーズモニター |
TP-630 |
サーマウエーブ社 |
12",8",6" |
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 ドーズモニター |
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| No. |
装置 |
型式 |
メーカー |
ウエーハサイズ |
備考 |
| 8 |
レーザー表面検査装置 |
LS-6000 |
日立電子エンジニアリング
株式会社 |
8",6",5",4" |
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| 9 |
レーザー表面検査装置 |
SP-1 TBI |
ケーエルエーテンコール |
12",8" |
300mmFOUP対応 |
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 レーザー表面検査装置
LS-6000 |
 レーザー表面検査装置
SP-1 TBI |
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| No. |
装置 |
型式 |
メーカー |
ウエーハサイズ |
備考 |
| 10 |
シート抵抗測定器 |
RS-35C |
ケーエルエーテンコール |
8",6",5",4",3" |
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| 11 |
シート抵抗測定器 |
RS-100 |
ケーエルエーテンコール |
12",8" |
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 シート抵抗測定器 RS-35C |
 シート抵抗測定器 RS-100 |
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| No. |
装置 |
型式 |
メーカー |
ウエーハサイズ |
備考 |
| 12 |
ウエーハ移載機 |
GHR4180 |
ＪＥＬ |
12",8" |
300mmFOUP対応 |
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 ウエーハ移載機 |
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