イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

Vth

用語説明:Vth / threshold voltage

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MOSトランジスタにおいて、ゲート電圧がある値を超えると、急激にドレイン電流が流れるようになるが、この電圧をVthという。

ゲート電圧が印加され、その値がVthよりも大きくなると、チャネル領域に反転層が形成され、ソースとドレインの間を電子あるいは正孔(ホール)が移動できるようになるため、ドレイン電流を流すことができるようになる。

Vthは、トランジスタとそれを用いたデバイスの特性に大きく影響するため、その値が最適となるように製造プロセスと設計の整合が図られる。

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