イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

TED

用語説明:TED / transient enhanced diffusion , boron enhanced diffusion

同義語:-    関連語:BED

シリコン基板中に導入された不純物は、その後、熱処理を行って活性化させられるが、その際、異常に速い拡散を起こして再分布する現象をさす。

その原因として、イオン注入による欠陥によるものをTED(transient enhanced diffusion)と呼び、注入されたボロンのイオンが、増速拡散するものをBEDと呼ぶ。

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