イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

分子イオン

用語説明:分子イオン / molecular ion

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実効的な注入深さを浅くしたい場合など、BF2+など、イオン化された分子を用いて注入することがある。

同じエネルギーをBF2+イオン/B+イオンに与えたとしても(同じ加速電圧で加速したとしても)、Bの実効エネルギーはBF2+イオン起因のものの方が小さい。

このため、実際にドーパントとして利用する原子であるBについても、B+を同じ加速電圧で加速した場合よりも小さな運動量でウェーハに注入されることになり、B+イオンを用い浅い注入を行う代わりに、BF2+注入を用いることで、より高い加速電圧を用いることができる。

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