イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

プリアモルファス化

用語説明:プリアモルファス化 / pre-amorphization

同義語:-    関連語:-

チャネリングによる注入深さの不均一さなどを解消するために、シリコン結晶の結晶構造を壊して、非晶質化しておく処置をさす。

GeやSiの注入によって、このような処置を行うことがある。

同様の目的で、評価用ウェーハに対して、あえて酸化膜をつけることもある。

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