イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

ドーズ合わせ込み

用語説明:ドーズ合わせ込み / dose matching

同義語:-    関連語:-

異なるイオン注入装置の設計の違いによる特性の違いや、同種のイオン注入装置であっても装置間の機差が存在する場合など、複数のイオン注入装置の間で、注入されるドーズ量を合わせるための作業をいう。

複数の装置で、同じ条件設定で注入したウェーハの特性をシート抵抗値、サーマルプローブ値などで測定し、その結果から、装置側の係数を補正し、最終的には両者で同じ条件設定であれば、同じウェーハ特性となるように合わせ込む。

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