イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

チャネリング

用語説明:チャネリング / channeling

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結晶構造を持つウェーハに注入する際、結晶の方向により、原子が密に配列されている部分もあれば、原子が疎となっている部分もある。

例えば、原子が疎となっている方向からイオン注入を行うと、イオンビームは結晶原子に衝突する確率が小さくなり、結晶の奥深くまで注入される確率も高くなるが、これをチャネリングと呼ぶ。

結晶軸に沿ってイオン注入した場合のチャネリングを軸チャネリング、結晶面に沿ってイオン注入した場合のチャネリングを面チャネリングと呼び、例えば、注入均一性のマップでも区別することができる。

チャネリング

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