イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

シャロージャンクション

用語説明:シャロージャンクション / shallow junction

同義語:-    関連語:-

半導体デバイスの微細化が進むと、ソース・ドレイン領域の接合形成深さも浅くなってくるが、これをシャロージャンクション(浅い接合)という。

シャロージャンクション化が進むに伴い、従来よりも低いエネルギーでの注入が重要となってくる。

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