イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

コンタミ量

用語説明:コンタミ量 / contamination level

同義語:-    関連語:-

イオン注入において、ウェーハに混入されたコンタミネーションの量をさす。

一般に、原子吸光分析、全反射蛍光X線分析、SIMS分析などで定量され、目的のイオンの注入量(ions/cm2)に対するコンタミネーションの量(atoms/cm2)で表されることもあれば、%、ppmといった比率で表されることもある。

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