イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

回転注入

用語説明:回転注入 / rotational implant

同義語:-    関連語:ステップ回転注入

ウェーハ上のデバイスに対して、複数の方向からイオンを注入する場合などに、チルト角度を設定した上で、ウェーハを面中心を軸として回転させながらイオン注入を行うことを、回転注入と呼ぶ。

回転注入の中には、注入しながら連続的に回転を行うものと、注入時は回軸を停止させ、その後ウェーハを所定角度回転させて、再び注入を行うことを繰り返すステップ回転注入がある。

ハロー注入、ポケット注入などと言われる高チルト角での注入は、ステップ回転注入が一般的に用いられる。

ページの先頭に戻る