イオン注入ディクショナリー

イオン注入プロセス 関連用語

HALO / ポケット

用語説明:HALO/ポケット / HALO/pocket

同義語:-    関連語:-

CMOSトランジスタのソースまたはドレインとエクステンション部分を取り囲むように作られた部分で、短チャンネル効果を抑制するために、ウェルよりも不純物濃度を高めた部分を指す。

ゲートまでを形成した後に、大きなティルト角度で注入を行うなどの方法で、形成される。

HALO / ポケット

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