イオン注入ディクショナリー

その他

イオン注入装置の運転でよく用いられる単位

  • ビーム電流(1価のみ):μA、mA
  • ビーム電流(2価以上):eμA(エレクトリック...)、pμA(パーティクル...)
  • 注入エネルギー:eV(エレクトロンボルト)、keV(キロ...(ケブ))、MeV(メガ...(メブ))
  • 注入ドーズ量:ions/cm2、atoms/cm2
  • 処理能力・スループット:wph (Wafers per hour)
  • 電圧:mV、V、kV
  • 純水抵抗など:Ω・cm
  • スイープ周波数など:Hz、kHz
  • 真空度:Pa(パスカル)、Torr(トル)、mmTorr(ミリトル)、mmHg(ミリ水銀)
  • 圧力・差圧 :kgf/cm2(キログラム重毎平方センチメートル)、MPa(メガパスカル)
  • ガス流量:ccm
  • 冷却水流量:L/min
  • 時間の単位:sec(秒)、mmsec(ミリ秒)

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